技术参数;
真空腔体 | ||
类型 | 高温型 室温到400℃ | 高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
腔体内尺寸 | Φ88mmX59mm | |
腔体外尺寸 | Φ112X65mm | |
腔体重量 | 约2.6KG | |
腔体上视窗尺寸 | Φ47mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离) | |
腔体抽气口 | 可扩展KF16法兰 KF25法兰 | |
腔体真空测量口 | KF16法兰(其余接口规格可转接) | |
腔体进气口 | 公制3mm6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选 | |
腔体电接口 | 5KV高压电极,10KV高压电极,4芯8A气密封信号接口,8芯4A气密封信号接口, | |
腔体正压 | ≤0.1MPa | |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) | |
制冷接口 | 无 | 3mm液氮管道 |