超纯水处理设备的工艺流程大致分成以下几种：①、采用离子交换树制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点②、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点③、采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
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