去离子水在现代工业中有着非常广泛的用途，使用去离子水，是我国很多行业提高产品质量的，赶超先进水平的重要手段之一。由于去离子水中的离子数可以被人为的控制，从而，使它的电阻率、溶解度、腐蚀性、病毒细菌等物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。在工业生产及实验室的实验中，如果涉及到使用水的工艺都被使用了去离子水，那么，许多参数会接近设计或理想数据，产品质量将变得易于控制。 3.高纯水：就是指化学纯度高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、、电力等域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。
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